硅与其他资料在集成电路中的比较

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硅与其他 。资料中半导体 。集成资料在。电路集成电路。比较使用中的资料中比较可从以下维度打开剖析 :

一、根底特性比照。集成

资料。带隙(eV) 。比较电子迁移率(cm²/(V·s))。资料中热导率(W/(m·K)) 。集成击穿电场(MV/cm)。电路
‌。比较硅(Si) 。资料中‌ 。集成1.12。电路1500。150 。0.3。
锗(Ge) 。0.67。3900。60 。0.1 。
砷化镓(GaAs) 。1.42 。8500。55。0.4。
碳化硅(SiC) 。3.26 。900。490。3.0 。
氮化镓。(GaN) 。3.4 。2000  。130  。3.3 。

二 、中心优势范畴  。

‌ 。硅资料。‌。

‌ 。干流逻辑芯片。‌:全球95%的集成电路选用硅基制作 ,因其本钱低(12英寸晶圆本钱仅为砷化镓的1/10) 、工艺老练(支撑3nm制程)14。

‌。集成度优势 。‌:硅晶圆直径可达300mm,单晶缺点率低于0.1/cm²,合适超大规模集成814。

‌ 。氧化层特性。‌:天然生成的SiO₂绝缘层(介电常数3.9)是 。MOSFET 。器材的抱负介质28 。

‌  。化合物半导体 。‌ 。

‌  。高频使用 。‌:砷化镓电子迁移率是硅的5.7倍,适用于 。5G 。毫米波(>30GHz)器材49 。

‌。功率器材。‌:碳化硅击穿电场强度达硅的10倍,可使电动汽车。逆变器。损耗下降70%112 。

‌。光电 。转化。‌:磷化铟(InP)在光 。通讯。波段(1310/1550nm)量子功率超90%4。

三、要害功能短板。

‌。硅的局限性 。‌。

禁带宽度窄导致高温漏电流大(>150℃功能骤降)911 。

高频特性差(截止频率<100GHz) ,不合适太赫兹使用411。

‌ 。代替资料应战 。‌。

‌。本钱问题。‌ :6英寸碳化硅晶圆价格是硅晶圆的20倍12。

‌。晶圆尺度 。‌:氮化镓量产晶圆最大直径仅8英寸,约束产能提高12。

‌。工艺兼容性。‌:砷化镓器材需特别生产线 ,与硅基产线不通用4 。

四 、技能演进趋势。

‌。混合集成 。‌:硅基CMOS与氮化镓 。射频 。器材3D堆叠(如苹果5G射频模组)12。

‌  。异质外延。‌ :在硅衬底上成长GaN薄膜以下降本钱(已完成200mm工艺)12。

‌。量子核算 。‌ :硅-28同位素自旋量子比特相干时刻打破1秒11 。

当时硅仍主导逻辑芯片商场  ,而第三代半导体在功率/射频范畴加快浸透,构成互补共存格式48。

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