硅与其他资料在集成电路中的比较
硅与其他。资料中半导体 。集成资料在。电路集成电路。比较使用中的资料中比较可从以下维度打开剖析 :
一、根底特性比照。集成
资料。 | 带隙(eV)。比较 | 电子迁移率(cm²/(V·s))。资料中 | 热导率(W/(m·K)) 。集成 | 击穿电场(MV/cm)。电路 |
---|---|---|---|---|
。比较硅(Si) 。资料中。集成 | 1.12。电路 | 1500。 | 150。 | 0.3 。 |
锗(Ge)。 | 0.67。 | 3900。 | 60 。 | 0.1。 |
砷化镓(GaAs)。 | 1.42 。 | 8500。 | 55。 | 0.4。 |
碳化硅(SiC) 。 | 3.26。 | 900 。 | 490。 | 3.0。 |
氮化镓 。(GaN) 。 | 3.4。 | 2000 。 | 130 。 | 3.3。 |
二、中心优势范畴 。
。硅资料。 。
。干流逻辑芯片。 :全球95%的集成电路选用硅基制作 ,因其本钱低(12英寸晶圆本钱仅为砷化镓的1/10) 、工艺老练(支撑3nm制程)14。
。集成度优势 。:硅晶圆直径可达300mm,单晶缺点率低于0.1/cm² ,合适超大规模集成814。
。氧化层特性。 :天然生成的SiO₂绝缘层(介电常数3.9)是 。MOSFET 。器材的抱负介质28 。
。化合物半导体。 。
。高频使用。:砷化镓电子迁移率是硅的5.7倍,适用于 。5G 。毫米波(>30GHz)器材49 。
。功率器材。:碳化硅击穿电场强度达硅的10倍,可使电动汽车。逆变器。损耗下降70%112 。
。光电。转化。:磷化铟(InP)在光 。通讯。波段(1310/1550nm)量子功率超90%4。
三、要害功能短板。
。硅的局限性 。。
禁带宽度窄导致高温漏电流大(>150℃功能骤降)911。
高频特性差(截止频率<100GHz) ,不合适太赫兹使用411。
。代替资料应战 。。
。本钱问题。:6英寸碳化硅晶圆价格是硅晶圆的20倍12 。
。晶圆尺度 。:氮化镓量产晶圆最大直径仅8英寸,约束产能提高12。
。工艺兼容性 。:砷化镓器材需特别生产线 ,与硅基产线不通用4 。
四 、技能演进趋势。
。混合集成 。:硅基CMOS与氮化镓。射频 。器材3D堆叠(如苹果5G射频模组)12。
。异质外延。:在硅衬底上成长GaN薄膜以下降本钱(已完成200mm工艺)12。
。量子核算 。 :硅-28同位素自旋量子比特相干时刻打破1秒11 。
当时硅仍主导逻辑芯片商场 ,而第三代半导体在功率/射频范畴加快浸透,构成互补共存格式48。
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